試料の酸化を防止するクリーン無酸化ベーク炉
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温 度
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1)温度範囲:100℃〜350℃ MAX
2)温度調節精度: ±1.0℃
3)温度分布精度:±6℃(300℃安定時)
4)昇温時間
RT→350℃まで約70分(無負荷時) |
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クリーン
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1)清浄度:クラス100(常温時)
2)HEPAフィルター
高温用 日本ケンブリッジ製 MAX350℃ |
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極限までに槽内酸素濃度を軽減するためN2真空置換方式を採用したクリーン無酸化乾燥機で、試料の酸化防止を効率よく防止する無酸化乾燥機です。
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■特 長
1. 耐久性に優れたクリーン無酸化乾燥器です。
2. 独自の設計思想による高いコントロール精度を誇るクリー
ン無酸化乾燥器です。
3. スタートから作業を自動運転する酸化防止乾燥器です。 |
■構造図
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